2024年颠覆EUV光刻？不让ASML独美！
2024-03-22
王柯团队
想象一下，如果有办法打破这种趋势。
上周，世界第二大半导体设备制造商应用材料公司宣布他们有一个潜在的解决方案。该解决方案就是 Centura Sculpta 工具，这是一种可以执行新工艺步骤“pattern shaping”的新工具。
根据 Applied Materials 的说法，Sculpta 工具可用于将某些层的 EUV 光刻的使用减少一半之多。如果属实，这将重塑行业的成本结构。不过笔者对 Applied Materials 的说法有很大的怀疑空间，所以让我们来谈谈这个讨论的细微差别。
在这篇文章中，我们将深入探讨新的 Centura Sculpta及其相关影响。
首先，尽管有一个非常明确的用例，但半导体和金融行业的人们对这个工具有很多不屑一顾的地方。有人争辩说，这并不是什么新鲜事，它只是一种非常昂贵的电感耦合等离子体形式，用于进行反应离子蚀刻，这在大批量制造中已经存在了数十年。对此，人们也可能会争辩说，光刻技术已经存在了 150 年，而 EUV 也不是什么新鲜事物。shaping显然是独一无二的。
另一个主要的驳斥是它不成熟，而且还很遥远。那也是错误的。虽然 Sculpta 上周才在 SPIE 的光刻和高级图案会议上正式宣布，但这个新工具已经推出很长时间了。至少从 2015 年开始，应用材料公司就一直在发布关于这种工具类型的公开研究论文。
自 2017 年以来，该公司的第一个客户一直在与应用材料公司合作开发该工具。Applied Materials 甚至在去年的 SPIE Advanced Lithography & Patterning 会议上进行了技术演示，并提供了真实的客户测试数据。
关于该特定的演示文稿，还有个有趣故事。在应用材料的演示结束后，我们离开了演示室，并与一些与会者进行了交谈。普遍的共识是它非常酷，但行不通。为什么？参与 SPIE的公司演讲分为 3 类。1，什么即将投入生产，2，什么是多年以后，在地上种下一根木桩，3，什么根本不起作用但正在呈现，因为没有其他与数据有关的东西。我们去年的假设是应用材料这个技术是介护#2 和/或#3之间。
现在看来，那是一个错误的假设。
Applied Material 的 Centura Sculpta 并不是完全不成熟且远离生产的疯狂技术。Sculpta 是真实的，它确实有效，它将在未来几年内产生数亿美元的收入。鉴于它被宣传为在第一个用例中直接去除 EUV 双重图案化，首先让我们快速回顾一下光刻多重图案化过程。
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